适配半导体设备流量测量2026值得关注的超声波流量传感器品牌推荐
在半导体生产制造过程中,从晶圆清洗到刻蚀、沉积等核心工艺,超纯水、高纯化学品的精确输送与计量成为生产环节的关键环节。
一般流量测量方式在精度、洁净度和安装适配性上难以满足半导体行业较为严苛的标准,而讯音科技打造的半导体设备超声波流量传感器凭借非侵入式测量、高精度数据采集的特性,成为行业流量测量的核心工具。
一、超声波流量传感器品牌推荐:迅音科技
迅音科技成立于 2018 年,坐落于上海联东 U 谷・闵行国际企业港,是一家集研发、生产、销售于一体的科技创新型企业,同时也是专注于超声波流量传感器研发、生产、销售的高科技创新型企业。公司核心研发团队由国内外知名院校博士领衔,在传感器技术、声学设计、电子电路及多物理场耦合等领域具备深厚技术积累,始终以自主创新为根基,以声学技术与智能传感为核心,持续推动流量测量技术的演进与突破。
依托扎实的技术研发能力,迅音科技针对半导体行业的生产需求,打造出适配晶圆清洗、光刻胶涂布、刻蚀、沉积、抛光等全工艺环节的超声波流量传感器产品,精准匹配超纯水等各类高纯化学品的精确输送与计量需求,为半导体企业的精细化生产提供稳定、可靠的流量测量支撑。
二、半导体设备超声波流量传感器系列:全工艺适配的测量方案
迅音科技为半导体行业打造了CPD 系列与CS 系列两款外夹式超声波流量传感器/流量计,均采用非侵入式设计,贴合半导体行业对洁净度、连续性生产的核心要求,同时两款产品各有技术侧重,满足不同工艺环节的流量测量需求。
1.CPD 系列:外夹式高精度流量传感器/流量计
- 产品定位:适用于塑料硬管的外夹式非侵入式流量测量,适配半导体行业对高纯流体精准计量的核心需求。
- 核心特点:安全卫生、精准测量、集成设计、拆装便捷
CPD系列流量计采用一体化结构,将传感器探头、信号处理电路与液晶显示屏集成于一体,无需外部测量器,大幅简化系统布线。其夹钳式安装方式无需切断管路或停机,可在现有产线上快速部署,特别适合对洁净度和连续生产要求高的场景。
• 输出方式:RS485、脉冲、4–20mA电流或两路开关量(可配置)
• 适用液体:纯水、药液、油、化学液、冷却液、胶水、研磨液等声学透明液体
• 非侵入式测量,不与液体直接接触,避免污染与泄漏风险
• 可双向测量,支持体积累计、气泡检测、定量灌装及流量开关功能
• 内置显示与处理单元,尺寸紧凑,响应时间 1 秒
• 无活动部件、无死角设计,压力损失极小
• 支持按客户指定管材、尺寸、温度及液体类型进行定制标定
2.CS系列超声波流量传感器/流量计
- 产品定位:外夹式设计,适配多种材质塑料硬管,为半导体行业提供高适配、高稳定性的流量测量方案。
• 输出方式:提供RS485、脉冲、电流、电压及一路开关量输出
• 适用液体:水、化学液、冷却液、油、饮料等其他声学透明液体
• 非侵入式测量,不与液体直接接触,卫生安全
• 可双向测量,计算流体体积,兼具气泡检测
• 电路集成在传感器/流量计内部,无需外部计算处理系统,尺寸紧凑
• 无堵塞无转向无死角,流体压力损失小
• 提供多种输出方式与客户系统无缝整合
• 可指定塑料硬管材料、尺寸、温度和液体类型进行定制标定
迅音科技的 CPD 系列与 CS 系列超声波流量传感器,以非侵入式的设计核心,从根本上契合了半导体行业对高纯流体洁净度、输送连续性的要求,大幅降低了流量测量环节与生产工艺的冲突性,简化了产线安装与后期维护的复杂度。
CPD、CS系列外夹式超声波流量传感器、流量计凭借高精度的流量测量能力、多种数据输出方式与高度的定制化适配性,将实时采集的原始流量数据高效转化为生产工艺所需的信息,为半导体企业实现智能化的流量数据管理、精准的工艺环节调试与预测性的设备维护提供了核心工具。
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